首页

浸入式光刻技术

/immersion lithography technology/
最后更新 2023-08-31
浏览 171
最后更新 2023-08-31
浏览 171
0 意见反馈 条目引用

集成电路制造中,利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨力的光刻技术。一般指ArF(193纳米)浸入式光刻技术。

英文名称
immersion lithography technology
所属学科
电子科学与技术

相关条目

阅读历史

    意见反馈

    提 交

    感谢您的反馈

    我们会尽快处理您的反馈!
    您可以进入个人中心的反馈栏目查看反馈详情。
    谢谢!