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微波等离子体

/microwave plasma/

最后更新 2022-11-06

浏览 354次

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利用高频电磁波使工作气体电离击穿而产生的等离子体。应用于产生微波等离子体的频率一般是0.915吉赫和2.45吉赫，其中2.45吉赫微波使用更为普遍。

英文名称: microwave plasma

所属学科: 物理学

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