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磁控溅射

/magnetron sputtering/

最后更新 2022-12-23

浏览 362次

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在真空条件下电离惰性气体，气体离子在电场的作用下，轰击金属靶材使金属原子沉积到玻璃表面的技术。

英文名称: magnetron sputtering

所属学科: 电子科学与技术

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