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等离子体改性

/plasma modification/

最后更新 2023-11-09

浏览 261次

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利用电离性气态物质等离子体中分布的电子、离子和中性粒子撞击材料表面，同时将粒子能量传递给材料表面来打开材料表面化学键并引入新的粒子成分的物理化学过程。

英文名称: plasma modification

所属学科: 电气工程

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