金属有机物化学气相沉积

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/metal-organic chemical vapor deposition; MOCVD/

最后更新 2022-12-23

浏览 230次

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通过载流气体将金属有机反应源的饱和蒸汽带入包含其他反应气体的腔体中混合，在加热的衬底表面发生化学反应并沉积形成薄膜的技术。

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