文献引用
复制
首页
[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":99037,"Name":"集成电路"},{"ID":99050,"Name":"集成电路工艺"},{"ID":99052,"Name":"硅热氧化工艺"}]
快速热氧化
/rapid thermal oxidation/
最后更新 2022-01-20
浏览 339次
在极短的时间内通过快速升降温在高温下实现硅表面迅速热氧化的半导体制造工艺技术。是快速热处理工艺之一。
- 英文名称
- rapid thermal oxidation
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
