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脉冲激光沉积

/pulsed laser deposition; PLD/

最后更新 2023-08-03

浏览 277次

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利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，得到特殊的物质结构或者薄膜的工艺技术。又称脉冲激光烧蚀。

英文名称: pulsed laser deposition; PLD

又称: 脉冲激光烧蚀

所属学科: 电子科学与技术

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