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热激电流谱

/thermally stimulated current spectroscopy/
最后更新 2022-12-23
浏览 228
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在低温下利用光激发产生的电子-空穴填充深能级陷阱,然后根据不同升温速率下结电流随温度变化的特性,探测半导体中深能级缺陷的能级位置及其浓度的常用电学测量技术。

英文名称
thermally stimulated current spectroscopy
所属学科
物理学

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