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金属有机化合物气相外延

/metal organic compound vapour phase epitaxy/

最后更新 2022-12-23

浏览 218次

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化学气相沉积中的一种，主要反应物原料气体采用金属有机化合物。又称金属有机化合物气相沉积（MOCVD）。

英文名称: metal organic compound vapour phase epitaxy

又称: 金属有机化合物气相沉积

所属学科: 物理学

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