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化学束外延

/chemical beam epitaxy/
最后更新 2022-01-20
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分子束外延(MBE)和金属有机化学气相沉积(MOCVD)基础上发展起来的超薄层材料生长技术。简称CBE。

英文名称
chemical beam epitaxy
所属学科
材料科学与工程
简称
CBE

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