文献引用
复制
首页
[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":64314,"Name":"材料科学与工程"},{"ID":109335,"Name":"电子信息材料"},{"ID":109336,"Name":"半导体材料"},{"ID":109375,"Name":"半导体材料性能检测"},{"ID":109380,"Name":"[表面测量]"}]
二次离子质谱分析
/secondary ion mass spectrometry/
最后更新 2022-11-17
浏览 230次
用质谱分析研究一次离子束轰击固体表面时溅射出来的二次离子，从而获得固体表面组成信息的技术。
- 英文名称
- secondary ion mass spectrometry
- 所属学科
- 材料科学与工程
京公网安备 11010202008139号
