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纳米压印技术

/nanolithography/

最后更新 2022-12-23

浏览 237次

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通过机械压力和温度的控制将纳米压印母版上已做好的图形转移到纳米压印胶上的纳米图形制造技术。其极限分辨率只受母版分辨率的影响而不受光学衍射极限的限制。

英文名称: nanolithography

所属学科: 电子科学与技术

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