文献引用
复制
首页
[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":99037,"Name":"集成电路"},{"ID":100503,"Name":"金属-氧化物-半导体集成电路"}]
V型槽金属-氧化物-半导体集成电路
/V-groove metal-oxide-semiconductor integrated circuit/
最后更新 2023-08-19
浏览 184次
在硅片表面上刻蚀出V型凹槽，并利用双扩散或外延生长等工艺在槽内制作的金属-氧化物-半导体（metal-oxide-semiconductor，MOS）集成电路。简称VMOS电路。
- 英文名称
- V-groove metal-oxide-semiconductor integrated circuit
- 简称
- VMOS电路
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
