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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":80576,"Name":"传统半导体器件"},{"ID":80591,"Name":"【半导体工艺技术】"}]
金属有机气相外延
/metal-organic vapor phase epitaxy; MOVPE/
最后更新 2023-08-03
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以热分解反应为基础的气相外延法。
- 英文名称
- metal-organic vapor phase epitaxy; MOVPE
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
