微机械惯性传感器 - 中国百科网
展开全部 +
首页

微机械惯性传感器

/micro-electromechanical system inertial sensor/
最后更新 2023-05-29
浏览 245
最后更新 2023-05-29
浏览 245
0 意见反馈 一键引用
文献引用
复制

集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等技术于一身的惯性器件。又称微机电惯性仪表。

英文名称
micro-electromechanical system inertial sensor
又称
微机电惯性仪表
所属学科
控制科学与工程

相关条目

阅读历史

    纸书购买
    意见反馈

    提 交

    感谢您的反馈

    我们会尽快处理您的反馈!
    谢谢!

    试用结束,开通会员即可查阅全文

    对不起,您所在机构没有获得相应使用权限。若需获得更多服务,请与您所在机构的负责部门或本网站客服联系。