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微悬臂梁

/microcantilever/

最后更新 2023-06-08

浏览 274次

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几何尺寸为微米范围，且可以用光学、电学等方法测量、表征或传感其自由端形变或空间位置信息的微型机械电子装置或器件。又称微悬臂梁传感器。有的文献上也将悬臂梁和微悬臂梁混用，所指含义相同。微悬臂梁是分析化学和仪器仪表行业名词。

英文名称: microcantilever

又称: 微悬臂梁传感器

所属学科: 化学

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