文献引用
复制
首页
[{"ID":42422,"Name":"理学"},{"ID":62083,"Name":"化学"},{"ID":121686,"Name":"物理化学"},{"ID":123409,"Name":"纳米物理化学"},{"ID":123463,"Name":"纳米球光刻技术"}]
纳米球光刻技术
/nanosphere lithography/
最后更新 2025-06-06
浏览 232次
利用单层纳米球作为微透镜阵列，入射光经过纳米球的汇聚后，可以选择性地曝光胶体球底部的光刻胶，从而将胶体球阵列的周期性转移到光刻胶上，结合沉积、刻蚀等工艺可以进行纳米尺度的微细加工的技术。
- 英文名称
- nanosphere lithography
- 所属学科
- 化学
京公网安备 11010202008139号
