化学气相沉积 - 中国百科网

高级检索

专业板块专题板块大众板块

化学气相沉积是一个多义词，请在下列义项上选择浏览（共4个义项）

本条目是多义词，共4个义项

·理学
·金属材料
·机械工程
·工学

展开全部 +

首页

化学气相沉积

/chemical vapor deposition/

最后更新 2025-12-17

浏览 423次

最后更新 2025-12-17

浏览 423次

0 意见反馈一键引用

通过活化环境（热、光或等离子体）中使含有构成薄膜元素的挥发性化合物分解或与其他气相物质的化学反应产生非挥发性的固体物质并使之以原子态沉积在置于适当位置的衬底上，从而形成所要求材料的技术。简称CVD。

英文名称: chemical vapor deposition

简称: CVD

所属学科: 材料科学与工程

阅读历史

版权所有 © 2025 中国大百科全书出版社
Copyrights © 2025 by Encyclopedia of China Publishing House.All Rights Reserved
京ICP备13020690号-4 京公网安备 11010202008139号
网络出版服务许可证：(署)网出证(京)字第155号

意见反馈

感谢您的反馈

我们会尽快处理您的反馈！

谢谢！