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离子镀

/ion plating/

最后更新 2022-12-23

浏览 282次

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在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。

英文名称: ion plating

所属学科: 材料科学与工程

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