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离子注入

/ion implantation/

最后更新 2025-09-10

浏览 350次

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用能量为100千伏量级左右的离子束入射到材料中，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理化学作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能的一种技术。

英文名称: ion implantation

所属学科: 材料科学与工程

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