离子束刻蚀 - 中国百科网

高级检索

专业板块专题板块大众板块

离子束刻蚀是一个多义词，请在下列义项上选择浏览（共2个义项）

本条目是多义词，共2个义项

·工学
·电子科学与技术

展开全部 +

首页

离子束刻蚀

/ion beam etching/

最后更新 2024-12-17

浏览 328次

最后更新 2024-12-17

浏览 328次

0 意见反馈一键引用

定向高能离子撞击固体靶时，入射离子所携能量转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量，这些原子就会被移开或从表面上被除掉的技术。又称离子铣。

英文名称: ion beam etching

又称: 离子铣

所属学科: 电子科学与技术

阅读历史

版权所有 © 2025 中国大百科全书出版社
Copyrights © 2025 by Encyclopedia of China Publishing House.All Rights Reserved
京ICP备13020690号-4 京公网安备 11010202008139号
网络出版服务许可证：(署)网出证(京)字第155号

意见反馈

感谢您的反馈

我们会尽快处理您的反馈！

谢谢！