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阳极键合

/anodic bonding/
最后更新 2023-08-22
浏览 424
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将玻璃与金属、合金或半导体键合在一起,不用任何黏结剂的一种工艺技术。又称静电键合、静电封接。

英文名称
anodic bonding
又称
静电键合、静电封接
所属学科
仪器科学与技术

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