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液相外延

/liquid phase epitaxy/
最后更新 2023-02-04
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低熔点的金属,如Ga、In等为溶剂,待生长材料,如Ga、As、P(包括掺杂剂如Zn、Te、Cd等)为溶质,在溶剂中,溶质呈现饱和或过饱和状态,通过降低温度,使得溶质从溶剂中析出,在基片上外延生长的技术。利用这种技术,可以生长Si、GaAs、GaAlAs、GaP等半导体材料以及其他材料,通过适当的工艺,控制条件,制备层状器件结构,如异质结构LED。

英文名称
liquid phase epitaxy
所属学科
光学工程

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