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离子束抛光

/ion beam figuring; IBF/

最后更新 2023-01-06

浏览 312次

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离子束抛光采用被充电的高能原子或离子（离子的质量较原子质量更大，因而可获得更大的动能），在真空状态下由离子枪射向工件，材料在离子束的轰击下实现去除。

英文名称: ion beam figuring; IBF

所属学科: 光学工程

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