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吸气剂离子泵

/getter ion pump/

最后更新 2023-02-21

浏览 232次

最后更新 2023-02-21

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将被抽气体分子电离，并在电磁场或电场的作用下将其输送到泵的吸附表面而被吸气剂捕集的真空泵。

英文名称: getter ion pump

所属学科: 机械工程

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