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电子束曝光
/electron beam lithography/
最后更新 2023-09-12
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用低功率密度的电子束照射涂有感光胶的晶片，通过直接描画或投影复印图像技术产生图形的一种微细加工技术。
- 英文名称
- electron beam lithography
- 所属学科
- 机械工程
京公网安备 11010202008139号
