离子束溅射 - 中国百科网

高级检索

专业板块专题板块大众板块

离子束溅射是一个多义词，请在下列义项上选择浏览（共3个义项）

本条目是多义词，共3个义项

展开全部 +

首页

离子束溅射

/ion beam sputtering/

最后更新 2022-12-23

浏览 242次

最后更新 2022-12-23

浏览 242次

0 意见反馈一键引用

在真空环境中，利用从离子源引出的高能离子束对材料表面进行轰击，使材料的原子或分子从表面溅射出来的技术。

英文名称: ion beam sputtering

所属学科: 机械工程

阅读历史

版权所有 © 2025 中国大百科全书出版社
Copyrights © 2025 by Encyclopedia of China Publishing House.All Rights Reserved
京ICP备13020690号-4 京公网安备 11010202008139号
网络出版服务许可证：(署)网出证(京)字第155号

意见反馈

感谢您的反馈

我们会尽快处理您的反馈！

谢谢！