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蒸发

/evaporation/

最后更新 2023-09-28

浏览 361次

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在真空系统中，利用金属原子获得足够的能量后摆脱金属表面的束缚成为蒸气原子，在其运动的过程中遇到晶片并在晶片上淀积，形成金属薄膜的物理过程。又称蒸发淀积。

英文名称: evaporation

又称: 蒸发淀积

所属学科: 机械工程

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