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干法刻蚀

/dry etching/

最后更新 2023-10-28

浏览 441次

最后更新 2023-10-28

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利用气体或等离子体与材料表面反应形成挥发性物质，或直接轰击材料表面使之被去除的一种可控的工艺过程。

英文名称: dry etching

所属学科: 机械工程

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