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干法刻蚀
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机械工程
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半导体照明技术
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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80056,"Name":"机械工程"},{"ID":80095,"Name":"机械工程基础"},{"ID":204727,"Name":"〔机械制造基础〕"},{"ID":204746,"Name":"加工制造"},{"ID":204771,"Name":"微纳机电系统"},{"ID":204772,"Name":"磁致动器"}]
干法刻蚀
/dry etching/
最后更新
2023-10-28
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条目引用
利用气体或等离子体与材料表面反应形成挥发性物质,或直接轰击材料表面使之被去除的一种可控的工艺过程。
英文名称
dry etching
所属学科
机械工程
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