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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80056,"Name":"机械工程"},{"ID":80095,"Name":"机械工程基础"},{"ID":204727,"Name":"〔机械制造基础〕"},{"ID":204746,"Name":"加工制造"},{"ID":204771,"Name":"微纳机电系统"},{"ID":204772,"Name":"磁致动器"}]
电子束光刻
/electron beam lithography/
最后更新 2022-12-23
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利用聚焦的加速电子束在涂有抗蚀剂的铬板或者半导体基片上进行微纳米结构图形制备的工艺。
- 英文名称
- electron beam lithography
- 所属学科
- 机械工程
京公网安备 11010202008139号
