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离子束刻蚀

/ion beam etching/

最后更新 2023-09-19

浏览 406次

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利用具有一定能量的高能离子束流轰击待刻蚀材料的表面，高能离子束的动量会传递给待刻蚀材料表面的原子或分子，产生溅射效应，达到刻蚀形成需要的几何图形的工艺。又称离子铣。

英文名称: ion beam etching

又称: 离子铣

所属学科: 机械工程

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