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反应离子刻蚀
/reactive ion etching/
最后更新 2023-05-30
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将物理性的离子溅射刻蚀和化学性的等离子刻蚀两种方法相结合的物理/化学刻蚀技术。
- 英文名称
- reactive ion etching
- 所属学科
- 机械工程
京公网安备 11010202008139号
