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/evaporation/
最后更新 2022-12-23
浏览 336
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在真空室中,加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到固体(称为衬底或基片)表面,凝结形成固态薄膜的方法。

英文名称
evaporation
所属学科
机械工程

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