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MEMS传感器

/MEMS sensor/

最后更新 2023-05-25

浏览 439次

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用半导体集成电路（IC）相似的批处理硅微工艺制造的，尺寸在微米与毫米之间的（一般特征结构尺寸在微米量级，整体尺寸在毫米量级），含有可活动的机械元件或特定机械结构的微型传感器件。全称微机电系统^[注]（MEMS）传感器。

英文名称: MEMS sensor

全称: 微机电系统传感器

所属学科: 机械工程

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