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低温泵

/cryopumps/

最后更新 2022-12-23

浏览 186次

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利用温度极低的冷却表面（≤77开）的冷凝作用，把气体从系统内部排除的真空泵。又称冷凝泵。

英文名称: cryopumps

又称: 冷凝泵

所属学科: 工程热物理及动力工程

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