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化学气相沉积

/chemical vapor deposition; CVD/

最后更新 2023-10-21

浏览 402次

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利用加热、等离子体激励或者光辐照等各种能量源在反应器内使气态或者蒸汽状态的化学物质在气相或者气-固界面上经过化学反应形成固态沉积物的方法。

英文名称: chemical vapor deposition; CVD

所属学科: 机械工程

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