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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":64314,"Name":"材料科学与工程"},{"ID":100017,"Name":"材料科学基础"},{"ID":100080,"Name":"[粒子束流与固体相互作用]"}]
离子束混合
/ion beam mixing/
最后更新 2024-04-08
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将离子束与薄膜技术相结合，使用离子束（通常是惰性气体离子）在沉积的膜层与基底之间，或者是在膜层与膜层之间通过原子间的碰撞相互混合，从而形成均匀成分的合金相。
- 英文名称
- ion beam mixing
- 所属学科
- 材料科学与工程
京公网安备 11010202008139号
