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微悬臂梁

/micro cantilever/
最后更新 2022-12-23
浏览 309
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用硅等材料经微机械加工技术制成的微型梁结构。

英文名称
micro cantilever
用途
广泛应用在微机电系统和微机械传感器中
材质
硅等

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