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微悬臂梁
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理学
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机械工程
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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80056,"Name":"机械工程"},{"ID":80095,"Name":"机械工程基础"},{"ID":80096,"Name":"微纳与仿生机械"},{"ID":80097,"Name":"﹝微纳机械﹞"},{"ID":80098,"Name":"微纳结构"}]
微悬臂梁
/micro cantilever/
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用硅等材料经微机械加工技术制成的微型梁结构。
英文名称
micro cantilever
用途
广泛应用在微机电系统和微机械传感器中
材质
硅等
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