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射频等离子体

/radio frequency plasma/

最后更新 2022-11-08

浏览 455次

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由射频电磁场（2～200兆赫）激励气体放电产生的等离子体。包括容性耦合等离子体、感性耦合等离子体和螺旋波等离子体。

英文名称: radio frequency plasma

所属学科: 物理学

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