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利用气体放电产生的等离子体作用使参加反应的低分子气态化合物电离、离解或激发，通过气相与界面化学反应后在衬底上沉积薄膜的制备方法。由于该过程伴随着化学反应，因此称为等离子体增强（或辅助）化学气相沉积。
京公网安备 11010202008139号
