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化学气相沉积

/chemical vapor deposition/

最后更新 2023-05-06

浏览 288次

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气态（蒸气）物质在热固表面（称为衬底或基体）上发生分解反应，形成一层固态沉积物的过程。

英文名称: chemical vapor deposition

所属学科: 化学

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