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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":84231,"Name":"航空宇航科学与技术"},{"ID":116415,"Name":"航天"},{"ID":198064,"Name":"航天综合电子技术"},{"ID":198180,"Name":"航天微机电"},{"ID":198181,"Name":"微机电系统"}]
微机电系统
/micro electron-mechanical system；MEMS/
最后更新 2023-01-10
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尺寸在微米量级到亚微米量级，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。全称微电子机械系统。
- 英文名称
- micro electron-mechanical system；MEMS
- 所属学科
- 航空宇航科学与技术
京公网安备 11010202008139号
