用氩形成的等离子体使待测元素原子化和离子化,如此形成的离子通过一系列的锥孔,进入高真空质量分析室,元素的同位素由其质荷比(m/e)鉴别,元素的量由特征的质谱峰的强度计算。是一种痕量(10-6~10-9)和超痕量(10-9~10-15)的元素分析方法。
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