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·〔核技术应用〕
·金属材料
·核技术

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离子注入

/ion implantation/

最后更新 2024-12-18

浏览 557次

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将特定的电离杂质原子经静电场加速打到晶圆表面，从而向材料中引入可控数量的杂质的过程。

英文名称: ion implantation

所属学科: 物理学

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