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    微电子机械系统

    /micro-electromechanical system; MEMS/
    最后更新 2023-08-19
    浏览 109次
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    借助半导体制造技术加工微米尺度的微传感器、微执行器等器件，与集成电路相结合，形成信号处理与控制、机电、机械、传感集成一体化的智能系统。

    英文名称
    micro-electromechanical system; MEMS
    所属学科
    电子科学与技术

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