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二次离子质谱分析

/secondary ion mass spectrometry/
最后更新 2022-11-17
浏览 57
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用质谱分析研究一次离子束轰击固体表面时溅射出来的二次离子,从而获得固体表面组成信息的技术。

英文名称
secondary ion mass spectrometry
所属学科
材料科学与工程

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