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二次离子质谱分析
/secondary ion mass spectrometry/
最后更新 2022-11-17
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用质谱分析研究一次离子束轰击固体表面时溅射出来的二次离子,从而获得固体表面组成信息的技术。
- 英文名称
- secondary ion mass spectrometry
- 所属学科
- 材料科学与工程