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绝缘体上硅薄膜

/silicon on insulator; SOI/
最后更新 2023-10-19
浏览 53
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使用“硅-绝缘体-硅”三层结构材料代替传统硅材料衬底的半导体制造工艺。具有高速度、低功耗、抗辐照等优点。

英文名称
silicon on insulator; SOI
所属学科
计算机科学技术

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