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微机电系统
/micro electron-mechanical system；MEMS/
最后更新 2023-01-10
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尺寸在微米量级到亚微米量级，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。全称微电子机械系统。
- 英文名称
- micro electron-mechanical system；MEMS
- 所属学科
- 航空宇航科学与技术
京公网安备 11010202008139号
