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光刻技术
/photolithography technology/
最后更新 2023-08-02
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集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
- 英文名称
- photolithography technology
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
